検査

検査データ

形状測定

ユニバーサル顕微鏡を用い、マイクロ等で測れない形状の寸法を測定をしています。

面精度測定

ザイゴ干渉計

透過波面

干渉計を用いることで、ナノクラスの研磨面の形状を測定しています。

面粗度測定

ザイゴ粗度計

粗度

非接触の粗さ測定機を用いて、オングストロームクラスの研磨面の粗さを測定しています。

厚み測定器

サブミクロン単位の測定が可能な測定器です。